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德國(guó)BRUKER薄膜光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)FilmTek 2000M

簡(jiǎn)要描述:德國(guó)BRUKER薄膜光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)FilmTek 2000M基于非接觸式光學(xué)技術(shù),集成光譜反射、光譜橢偏及多角度聯(lián)用等多種配置,內(nèi)置先*材料模型與全局優(yōu)化算法,可快速、無損、高精度同步測(cè)定薄膜厚度、折射率、消光系數(shù)等參數(shù)。專*MADP與DPSD技術(shù)實(shí)現(xiàn)折射率分辨率高達(dá)2×10??,測(cè)量范圍覆蓋從亞原子層到超百微米厚度。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電子、封裝及硅光子學(xué)等領(lǐng)域,為薄膜表征提供精準(zhǔn)可靠的解決方案。

  • 更新時(shí)間:2026-03-23
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德國(guó)BRUKER薄膜光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)FilmTek 2000M基于非接觸式光學(xué)技術(shù),集成光譜反射、光譜橢偏及多角度聯(lián)用等多種配置,內(nèi)置先*材料模型與全局優(yōu)化算法,可快速、無損、高精度同步測(cè)定薄膜厚度、折射率、消光系數(shù)等參數(shù)。專*MADP與DPSD技術(shù)實(shí)現(xiàn)折射率分辨率高達(dá)2×10??,測(cè)量范圍覆蓋從亞原子層到超百微米厚度。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電子、先*封裝及硅光子學(xué)等領(lǐng)域,為薄膜表征提供精準(zhǔn)可靠的解決方案。

德國(guó)BRUKER薄膜光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)FilmTek 2000M產(chǎn)品線簡(jiǎn)介 布魯克FilmTek薄膜光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)基于非接觸式光學(xué)技術(shù),內(nèi)置多種材料模型與先*的全局優(yōu)化算法,可快速、無損 且高精度的同步測(cè)定多個(gè)薄膜參數(shù),如薄膜厚度、折射率、消光系數(shù)等。 FilmTek薄膜測(cè)量系統(tǒng)包括光譜反射式、光譜橢偏式和多角度反射/橢偏聯(lián)用式。光譜反射式可用于測(cè)量從幾納米到 超過100微米的薄層厚度和光學(xué)特性,還可測(cè)量Via、溝槽結(jié)構(gòu)的深度。光譜橢偏式能夠測(cè)量更薄的薄膜,*薄可至單 個(gè)原子層以下,此外還能提供樣品介電特性的高精度、可重復(fù)測(cè)量結(jié)果。多角度反射 / 橢偏聯(lián)用式,在薄膜厚度和折射 率的準(zhǔn)確度與重復(fù)性方面達(dá)到同類*佳,折射率分辨率可達(dá)2x10-5,可實(shí)現(xiàn)從超薄膜到厚膜的折射率與厚度測(cè)量,非 常適用于測(cè)量超薄膜、多層薄膜堆疊以及對(duì)折射率分辨率有*高要求的材料。

德國(guó)BRUKER薄膜光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)FilmTek 2000M

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